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設備用途
JGP-450型單室深夜网站在线观看係統用於納米級單層及多層功能膜、 硬質膜、 金屬膜、 半導體膜、 介質膜等新型薄膜材料的製備。可廣泛應用於大專院校、 科研院所的薄膜材料科研與小批量製備。
◆設備組成
係統主要由濺射真空室、 深夜网站在线观看靶、 基片水冷加熱台、 工作氣路、 抽氣係統、 真空測量、 電控係統及安裝機台等部分組成。磁力送樣機構、 工作氣路、 抽氣係統、 安裝機台、 真空測量及電控係統等部分組成。
◆技術指標
極限真空度：≤6.6×10-5 Pa (經烘烤除氣後)；
係統真空檢漏漏率：≤5.0×10-7 Pa.l/S；
係統短時間暴露大氣並充幹燥氮氣後，再開始抽氣，40分鍾可達到8.0×10-4 Pa；
停泵關機12小時後真空度：≤5 Pa；
深夜网站在线观看設備性能舉例：
1.用直流電源磁控沉積金屬Cu膜，可以製備出沉積速度40nm/min的膜層；同時小樣品的膜厚均勻性可以達到3％；可以在硬質和柔性沉底生長膜層；常溫也可以沉積Cu膜，不脫落，但是結合力不好；
2.用射頻電源磁控沉積氧化矽和氧化鋁膜層（等各頭氧化物薄膜），可以製備出沉積速度3—5nm/min的膜層；小樣品膜層厚度均勻性可以達到3％；膜層的介電性能較好；
係統主要由濺射真空室、深夜网站在线观看靶、基片加熱公自轉台、工作氣路、抽氣係統、安裝機台、真空測量及電控係統等部分組成。
