當前標簽：電子束電阻複合鍍膜
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設備用途：EB500型電子束蒸發與電阻蒸發複合鍍膜係統用於製備導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜等，廣泛應用於大專院校、科研機構的科研及小批量生產。設備組成：係統主要由蒸發真空室、E型電子槍、熱蒸發電極、旋轉基片加熱台、工作氣路、抽氣
